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实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量系统
The Applied Automatic Measurement System on Oxygen and Carbon Concentrations in Silicon Crystal
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]信息产业部电子第四十六研究所,天津55信箱300192 [2]北京第二光学仪器厂,北京100015
年 份：2001
卷 号：37
期 号：5
起止页码：37-38
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量分析软件是WQF系列傅立叶变换红外光谱仪的中文显示专用软件,主要用于硅单晶(直拉硅、区熔硅)中氧、碳含量测量。
关 键 词：氧 碳 傅里叶变换红外光谱 硅单晶 自动测量系统
分 类 号：TN304.12] TP274.52]
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