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Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理 ( EI收录 SCI收录)
DIAGNOSTIC OF RF PLASMA BY USING LANGMUIR PROBE AND ITS NUMERICAL PROCESSING
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]汕头大学物理系,汕头515063
基 金:国家自然科学基金!(批准号 :19875 0 3 3 )&&
年 份:2001
卷 号:50
期 号:7
起止页码:1313-1317
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI(收录号:WOS:000169720600023)、SCI-EXPANDED(收录号:WOS:000169720600023)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊
摘 要:Langmuir探针是诊断等离子体参数的重要手段 .报道了在氩气射顿 (13 5 6MHz)辉光放电等离子体中使用调谐单探针进行诊断 ,对探针I V特性曲线的统计噪声进行了数字滤波的光滑化处理 ,而后求二次微商 .在相同的放电条件下 ,使用自行设计的微分电路 ,对探针特性二次微商进行在线测量 .这两种方法得到的二次微商结果能够较好地符合 .
关 键 词:LANGMUIR探针 二次微商 数值滤波 微分电路 数据处理 等离子体 诊断技术
分 类 号:O536]
参考文献:
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引证文献:
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