文献类型：期刊文章

作　　者：赵坤[1] 朱凤[1] 王莉芳[1] 孟铁军[1] 张保澄[1] 赵夔[1]

机构地区：[1]北京大学重离子研究所,北京100871

出　　处：《物理学报》

基　　金：中国节能投资公司资助! (批准号 :2 0 0 0 0 412 )&&

年　　份：2001

卷　　号：50

期　　号：7

起止页码：1390-1395

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2004057987211)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000169720600037)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：报道了用反应溅射法制备TiO2 薄膜的实验研究 .详细研究了氧分压、基底温度和退火温度对成膜结构的影响 .制备出了具有金红石和锐钛矿晶体结构的TiO2 薄膜 .分析了金红石和锐钛矿晶体的形成条件 ,并对薄膜的表面形貌进行了测量 .

关 键 词：反应溅射 TIO2薄膜 成膜结构  表面形貌 金红石 锐钛矿晶体  

分 类 号：O614]