期刊文章详细信息
化学气相沉积技术与材料制备 ( EI收录)
Chemical Vapor Deposition and Preparation of Materials
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]昆明贵金属研究所,昆明650221
基 金：云南省应用基础研究基金资助项目 ( 2 0 0 0E0 0 85M)
年 份：2001
卷 号：25
期 号：5
起止页码：364-368
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：概述化学气相沉积技术的一般原理与技术 ,总结化学气相沉积技术在材料制备方面的发展与应用状况 。
关 键 词：化学气相沉积 材料制备 贵金属 薄膜 涂层
分 类 号：TG174.444] TG146.3]
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