文献类型：期刊文章

作　　者：胡建平[1] 陈梅[1] 付雄鹰[1] 柴林[1]

机构地区：[1]成都精密光学工程研究中心,四川成都610041

出　　处：《强激光与粒子束》

基　　金：国家 8 63惯性约束聚变领域资助课题 (863 -4 16-2 )

年　　份：2001

卷　　号：13

期　　号：5

起止页码：529-532

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2002136902146)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：用原子力、Normaski和扫描电子显微镜等分析仪器 ,对高损伤阈值薄膜常采用的 Hf O2 /Si O2 薄膜进行了表面显微图象研究 ,分析了薄膜常见的表面缺陷 ,如节瘤 ,孔洞和划痕等。薄膜表面缺陷的激光损伤实验表明 ,不同缺陷的抗激光损伤能力大不相同 ,节瘤缺陷最低 ,约为 1 5 J/ cm2 ,薄膜的损伤阈值主要由其决定 ,孔洞的激光损伤能力与节瘤相比较高 ,约为节瘤的 2～ 3倍。节瘤缺陷在低能量密度的激光损伤所形成的孔洞 ,与镀制过程中形成的孔洞形貌相似 ,激光再损伤能力也相似。

关 键 词：HfO2/SiO2高反射薄膜  表面缺陷  激光损伤 原子电子显微镜  SEM 显微分析

分 类 号：O484.5] TB383.03[物理学类]