期刊文章详细信息
利用场发射扫描电镜的低电压高性能进行材料表征
Materials characterization by using field emission scanning electron microscope
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]清华大学材料科学与工程研究院电子显微镜实验室,北京100084
年 份：2001
卷 号：20
期 号：4
起止页码：275-278
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：场发射扫描电子显微镜 (FESEM)是一种高分辨扫描电镜 ,在材料分析中得到广泛应用。尤其是良好的低压高空间分辨性能和低压下良好的SE像相互结合使用 。
关 键 词：场发射 CNT FESEM 材料分析 低电压高性能 发射电流
分 类 号：TN16]
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