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期刊文章详细信息

空心阴极直流放电的二维自洽模型描述和阴极溅射分析  ( EI收录 SCI收录)  

SELF-CONSISTENT DESCRIPTION OF A DC HOLLOW CATHODE DISCHARGE AND ANALYSIS OF CATHODE SPUTTERING *

  

文献类型:期刊文章

作  者:赖建军[1] 余建华[2] 黄建军[3] 王新兵[1] 丘军林[1]

机构地区:[1]华中科技大学激光技术国家重点实验室 [2]深圳大学科技研究院光电子系,深圳518060 [3]深圳大学理学院,深圳518060

出  处:《物理学报》

基  金:广东省自然科学基金 (批准号 :980 92 2 )资助的课题&&

年  份:2001

卷  号:50

期  号:8

起止页码:1528-1533

语  种:中文

收录情况:BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号:2004057987237)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI(收录号:WOS:000170333200024)、SCI-EXPANDED(收录号:WOS:000170333200024)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘  要:建立了空心阴极放电的二维自洽理论模型 ,理论研究了气压为 5 0— 12 0Pa,电压为 15 0— 30 0V的范围内Ar空心阴极放电特性、粒子密度和电离速率空间分布 ,特别考察了影响阴极溅射分布有关因素 :阴极面上的电场、离子流和离子密度的沿阴极截面的空间分布 .研究结果不仅证实了在所讨论的范围内 ,空心阴极效应明显存在而且发现归一化电离速率的空间分布形状强烈依赖于气压 .通过研究电场、离子流和离子密度的空间分布解释了空心阴极溅射型离子激光器中不均匀阴极溅射的现象来源于阴极面附近的电场。

关 键 词:空心阴极放电  自洽模型  气体激光 阴极溅射 离子激光器

分 类 号:O462]

参考文献:

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引证文献:

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同被引文献:

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