文献类型：期刊文章

作　　者：朱煜[1] 陈进榜[2] 朱日宏[2] 高志山[2]

机构地区：[1]华东理工大学信息学院信息工程系,上海200237 [2]南京理工大学电光学院,南京210094

出　　处：《光学学报》

年　　份：2001

卷　　号：21

期　　号：4

起止页码：468-471

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2001546792835)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：根据傅里叶变换原理 ,提出了一种对由三个压电陶瓷堆 (PZT)组成的干涉仪移相器进行非线性及平行性校正与标定的方法。在对各个压电陶瓷堆进行非线性校正的基础上 ,利用干涉图像自动分析系统 ,综合分析各个压电陶瓷堆之间的牵制作用 ,从而得到对整体干涉仪移相器平行性校正的补偿依据。组建了一套卧式数字平面干涉仪 ,在干涉仪移相器承重 6kg的情况下进行实验 ,非线性误差由 12 %校正至 0 3 %。由于干涉仪相移器承重而引起的移相过程中的条纹旋转降至 2° ,条纹间距变化小于 2 %。

关 键 词：干涉仪 移相器 压电陶瓷堆  标定  非线性校正 平行性校正  傅里叶变换

分 类 号：TH744.3] TM282[仪器类]