文献类型：期刊文章

作　　者：马军山[1] 王向朝[1] 方祖捷[1] 张世宙[2] 清野慧[2]

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所,上海2018002 [2]日本东北大学大学院工学研究科,仙台9808579

出　　处：《光学学报》

年　　份：2001

卷　　号：21

期　　号：2

起止页码：232-235

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2001506761342)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：介绍了精密角度传感器和不使用任何精密参考仪器的角度传感器的自标定方法。采用补偿技术制作了一对角度传感器 ,可以克服光源热漂移带来的影响 ,并进行了标定。两个角度传感器的测量范围为 180″,分辨率分别为 0 .0 0 3″,0 .0 0 4″。平均灵敏度标定的重复性误差为 0 .0 15 % ,线性误差的标定重复性误差为 0 .0 15″。

关 键 词：角度传感器 临界反射  自标定 补偿技术 光源热飘移  平均灵敏度  线性误差  

分 类 号：TP212.12]