文献类型：期刊文章

作　　者：黄梅珍[1] 林斌[1] 唐九耀[1] 施隆照[2] 陈钰清[1]

机构地区：[1]浙江大学 [2]福州大学电子科学与应用物理系,福建福州350002

出　　处：《光电子．激光》

基　　金：国家教委重点资助项目;福建省教委资助项目 ( JB0 0 0 8)

年　　份：2001

卷　　号：12

期　　号：8

起止页码：795-798

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、核心刊

摘　　要：本文介绍了四边形电极结构 ,四边形电极改进结构和带电阻边框的方框形电极结构 3种二维位敏器件 (PSD)的结构和工作原理 ,导出了 3种结构 PSD的输出电流理论表达式和位置线性度网络图。结果表明 :四边形电极结构 PSD的位置偏差最大 ,中央 6 0 %光敏区域内最大位置误差约 10 .0 % ,与实验结果相符 ;四边形电极改进结构 PSD在中央 6 0 %光敏区域内最大位置误差约 5 .0 % ;带电阻边框的方框形电极结构 ,当边框电阻很小时 ,位置信号与输出电流之间满足线性关系 ,实验测得中央 79%光敏区域内的均方根位置误差小于 0 .3%

关 键 词：位置敏感探测器 位置误差  阳极结构  电流-位置输出特性  

分 类 号：TN247]