文献类型：期刊文章

作　　者：黄立业[1] 徐可为[1] 吕坚[2]

机构地区：[1]西安交通大学材料研究中心金属材料强度国家重点实验室,西安710049 [2]特鲁瓦技术大学机械系统并行工程实验室

出　　处：《金属学报》

基　　金：国家自然科学基金重点项目 59931010;两个基地建设项目; 中法先进研究计划项目 PRA MX99-06;中国科学院固体润

年　　份：2001

卷　　号：37

期　　号：7

起止页码：733-736

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000172767000011)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用纳米划痕仪研究了Ｔｉ合金表面类金刚石薄膜在划擦过程中的弹塑性变形和裂纹形成微观机制．结果表明：试样在划擦过程经历了薄膜变形、薄膜与基体共同变形和薄膜剥离３个阶段，对应的Ｐ—Ｄ曲线分别在划擦前后无变化、出现分离和急剧变化．在第三阶段中塑性变形量超过弹性变形量，在薄膜内部产生裂纹，薄膜与基体变形恢复不同步，薄膜发生剥落．因此，提高薄膜划擦抗力的有效途径是增强膜基的结合强度和提高薄膜的断裂韧性．

关 键 词：类金刚石碳膜 纳米划痕 断裂机制  力学性能

分 类 号：O484]