期刊文章详细信息
各向异性腐蚀技术研究与分析
Study and Analysis of Anisotropic Etching
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]辽宁大学物理系,沈阳300036
年 份：2001
卷 号：14
期 号：2
起止页码：140-146
语 种：中文
收录情况：CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：本文详细分析了用各向异性腐蚀技术形成的压阻式压力传感器硅杯的几种腐蚀方法 ,根据实验提出了它们的优缺点 ,介绍了几种各向异性蚀的自致停止法和腐蚀中削角的补偿方法 ,对制造微量程、高灵敏度的压力传感器有一定的指导意义 .
关 键 词：各向异性腐蚀 自致停止技术 压力传感器
分 类 号：TP212]
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