文献类型：期刊文章

作　　者：叶超[1] 宁兆元[1] 程珊华[1] 康健[1]

机构地区：[1]苏州大学物理系,苏州215006

出　　处：《物理学报》

年　　份：2001

卷　　号：50

期　　号：4

起止页码：784-789

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：使用三氟甲烷和苯的混合气体 ,利用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备了F/C比在0 11— 0 6 2之间的α C∶F薄膜 .研究了微波功率对薄膜沉积和结构的影响 ,发现微波功率的升高提高了薄膜的沉积速率 ,降低了薄膜的F/C比 ,也降低了薄膜中CF和CF3 基团的密度 ,而使CF2 基团的密度保持不变 .在高微波功率下可以获得主要由CF2 基团和CC结构组成的α C∶F薄膜 .薄膜的介电频率关系 (1× 10 3 — 1× 10 6Hz)和损耗频率关系 (1× 10 2 — 1× 10 5Hz)均呈指数规律减小 ,是缺陷中心间简单隧穿引起的跳跃导电所致 .α

关 键 词：氟化非晶碳薄膜 键结构  介电性质 ECRPECVD  沉积速率 成分  

分 类 号：TN015]