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四探针测半导体材料杂质分布
THE MEASUREMENT OF IMPURITY DISTRIBUTION IN SEMICODUCTOR MATERIAL WITH FOUR POINT PROBE METHOD
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]佳木斯大学理学院物理系,黑龙江佳木斯154007
年 份：2001
卷 号：19
期 号：1
起止页码：100-102
语 种：中文
收录情况：CAS、CSA-PROQEUST、PROQUEST、普通刊
摘 要：设计一个新的近代物理实验题目 .利用阳极氧化法对半导体材料逐次去层 ,采用四探针法测量其每层的电阻率及相应杂质浓度 ,可得出半导体材料的杂质分布 N (x) .实验设备简单 ,测量方便 ,结果准确 .并提供了自制四探针测量仪的方法 .
关 键 词：四探针 半导体材料 杂质分布
分 类 号：O474]
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