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期刊文章详细信息

二氧化锡薄膜的最佳掺杂含量理论表达式    

The Expression of Optimum Doping Content of Stannic Oxide Thin Films

  

文献类型:期刊文章

作  者:范志新[1] 陈玖琳[1] 孙以材[1]

机构地区:[1]河北工业大学应用物理系,天津300130

出  处:《电子器件》

年  份:2001

卷  号:24

期  号:2

起止页码:132-135

语  种:中文

收录情况:CAS、INSPEC、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘  要:二氧化锡薄膜应用广泛。本文讨论掺锑和掺氟的二氧化锡透明导电薄膜的最佳掺杂含量问题 ,建立模型并给出理论表达式 ,得出的最佳掺杂含量值与实验数据相符。

关 键 词:二氧化锡 最佳掺杂含量  薄膜  半导体材料

分 类 号:TN304.055]

参考文献:

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引证文献:

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同被引文献:

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