文献类型：期刊文章

作　　者：陈本永[1] 李达成[1] 朱若谷[2]

机构地区：[1]清华大学精密仪器与机械学系,北京100084 [2]中国计量学院计量与测控系,杭州310034

出　　处：《光学技术》

基　　金：国家自然科学基金资助项目! (597750 87)

年　　份：2001

卷　　号：27

期　　号：3

起止页码：223-225

语　　种：中文

收录情况：CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：设计了一套干涉条纹图像实时采集处理系统。在分析迈克尔逊干涉条纹特征表象的基础上 ,给出了通过跟踪干涉条纹的移动量测量被测对象纳米级位移量的理论公式 ;提出了干涉条纹特征点的提取与跟踪算法 :分段线性变换、方形窗口中值滤波和门限化边缘提取 ,给出了基于统计学原理的通过计算多条干涉条纹移动量获得被测对象纳米级位移量的计算公式。

关 键 词：干涉条纹 纳米测量  图像处理 位移测量  干涉仪

分 类 号：TH744.3] TG806[仪器类]