期刊文章详细信息
500pa微压传感器的研制
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]复旦大学电子工程系传感器研究室 [2]哈尔滨理工大学计算机应用技术研究所
年 份：2000
期 号：5
起止页码：22-23
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：硅压力传感器发展的一个重要趋势,是向高灵敏度的微压传感器发展。1993年我们率先采用微机械的梁膜结构制得PT-24量程lkpa微压传感器。但在进一步提高灵敏度的研究过程中,遇到如下几个问题:(1)非线性随着灵敏度提高变差;(2)灵敏度提高,稳定性变差;(3)过载能力不够;(4)静电封接时背岛与玻璃基片相接。本文针对上述问题进行了研究,在PT-24量程1kpa微压传感器的版图和工艺基础上进行改进和提高,成功地设计并制作出PT-28量程500pa压阻式扩散硅微压传感器。
关 键 词：微压传感器 压力传感器 梁膜结构
分 类 号：TP212.12]
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