文献类型：期刊文章

作　　者：李立杰[1] 梁春广[1]

机构地区：[1]河北半导体研究所,石家庄050051

出　　处：《Journal of Semiconductors》

基　　金：国防预研基金!资助项目 (项目编号 :8.7.2 .7)&&

年　　份：2001

卷　　号：22

期　　号：4

起止页码：465-468

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EBSCO、EI(收录号：2002116885645)、IC、INSPEC、JST、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：介绍了基于流体运动的加速度计的原理和制作 .它的原理是自然对流受到加速度信号而产生对流形变 ,从而产生温度差 ,由这个温度差感应了加速度、倾斜、位置变化 .这种加速度计由一个充有流体的密闭腔体组成 ,腔体中包含了一个加热元件和两个对称放置的温度敏感元件 .为了实现这种加速度计 ,采取了微机械制作方法中的前腐蚀工艺 ,把加速度计和伺服电路集成并封装在一起 ,测试了加速度效应 .

关 键 词：热对流 加速度计 微机械

分 类 号：TH824.4[仪器类]