期刊文章详细信息
多弧离子渗金属技术
Mnlti-arc Ion Infiltrating Metals Technique
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京联合大学机械工程学院
基 金：国家自然科学基金资助项目
年 份：1990
期 号：1
起止页码：20-24
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：本文用阴极电弧源做离子渗金属源。源极的靶材用Ｔｉ、Ａｌ、不锈钢制做。弧源因 产生冷阴极弧光放电而产生金属等离子体，形成高密度的金属离子流。基板由钢材制 成，施加适当的负偏压．在基板负偏压作用下，金属离子轰击并加热基板至 ９００℃或 １１００℃。金属原子渗入钢中形成高渗速渗金属层．文中测试了渗金属层的组织形貌和 Ｔｉ、 Ａｌ、 Ｃｒ、 Ｎｉ在渗层中的分布。结果表明阴极电弧源离子渗金属技术是新的金属等离子 体表面合金化技术，是对多弧离子镀的发展。
关 键 词：金属 阴极电弧 表面合金化 多弧离子渗金属技术 金属等离子体
分 类 号：TG174.445]
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