期刊文章详细信息
PD-1静电探针等离子体诊断系统
Electrostatic-probe plasma Diagnoses System PD-1
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]机械电子工业部沈阳真空技术研究所
年 份：1990
期 号：1
起止页码：7-12
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：本文简述了静电探针等离子诊断的基本原理，并且详细介绍了新型微机化的探针系 统。在该系统中，计算机代替人来完成探针特性的测试以及全部复杂运算，因而简化了 操作并大大加快了诊断速度。
关 键 词：PD-1静电探针 微机 等离子体诊断系统 软件
分 类 号：TL656]
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