期刊文章详细信息
静电探针测量等离子体内参数
Measurement of Plasma Inner Parameters by Electrical Probe
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]机械电子工业部沈阳真空技术研究所
年 份：1990
期 号：1
起止页码：1-6
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：根据探针收集电子流的理论，提出电子流对探针电位的一次微商的最大值对应着等 离子体电位。以一台微型计算机作为静电探针系统的核心，统一完成探针系统的控制、记 录和计算工作。在两分钟之内可完成等离子体电位、悬浮电位、电子能量分布和电子密 度的测量。
关 键 词：静电探针 等离子体 参数内 测量 电位 悬浮电位 电子能量分布 电子密度
分 类 号：TL656]
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