期刊文章详细信息
在线检测超精细表面微观形貌的激光轮廓仪
A Laser Profilometer for On-Line Measuring Microprofile of Super-Fine Surface
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]四川大学激光应用技术研究所,四川成都610065
基 金：国家自然科学基金资助项目! (5 92 3 5 12 3 )
年 份：2001
卷 号：28
期 号：2
起止页码：7-10
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、JST、PROQUEST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨力激光轮廓仪。此仪器具有很高的共模抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于 0 .2 nm( Ra)。
关 键 词：激光轮廓仪 表面测量 在线检测 微观形貌检测
分 类 号：TG84] TN24]
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