期刊文章详细信息
九十年代微电子学突破方向的展望
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]河北大学电子系,保定071002
年 份：1992
卷 号：8
期 号：6
起止页码：1-3
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX1992、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊
摘 要：纳电子学和真空微电子学是九十年代微电子学的两个极有发展前途的新方向。本文概要介绍了纳电子学和真空微电子学发展的状况及其主要器件的工作原理,并介绍了它们的应用领域和发展方向。
关 键 词：微电子学 纳电子学 真空
分 类 号：TN4]
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