期刊文章详细信息
φ16cm宽束离子源的设计
Design of a 16 cm-diameter broad-beam ion source
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]华东工业大学仪器仪表学院
年 份：1995
卷 号：17
期 号：2
起止页码：45-50
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：本文介绍了一种口径为φ１６ｃｍ的宽束离子源的设计．该源采用了多极场型放电室，结构紧凑合理，便于清洁维修以及更换离子引出系统．使用二栅引出系统时，可获得５０～１５００ｅＶ的离子束．距源１０ｃｍ处，５００ｅＶ的氩离子束的束流密度可达０．９５ｍＡ／ｃｍ２，且±８％均匀性的均匀区域达φ１４ｃｍ．
关 键 词：离子源 离子束溅射 设计
分 类 号：TL629.1]
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