文献类型：期刊文章

作　　者：刘谦祥[1] 李德军[1]

机构地区：[1]天津师范大学物理系,天津300074

出　　处：《天津师大学报（自然科学版）》

基　　金：国家自然科学基金资助项目! (10 0 75 0 34) ;天津市教委自然科学基金资助项目 !(2 0 0 10 30 4)

年　　份：2001

卷　　号：21

期　　号：1

起止页码：19-22

语　　种：中文

收录情况：普通刊

摘　　要：氮化钛 ( Ti N)薄膜独特的性能不仅在机械工业和商品的表面装饰行业上有着广泛的应用 ,而且在临床制品及人工器官领域也展示了潜在的应用前景 .研究利用大功率偏压电源的多弧离子镀技术 ,采用工具镀工艺 ,在 Ti- 6 Al- 4V合金材料表面制备了 Ti N薄膜 .用 X射线光电子能谱检测证明了所制备的薄膜确为 Ti N.机械性能测试表明 :具有 Ti N涂层样品的显微硬度大大高于 Ti合金基材 ,同时耐磨性能也明显得到改善 .

关 键 词：多弧离子镀 氮化钛薄膜 机械性能 显微硬度 耐磨性 薄膜结构  

分 类 号：O484.4]