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基于扫描白光干涉法的表面三维轮廓仪
Surface 3D profiler based on scanning white light interferometry method
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]上海宝钢股份有限公司研究院设备所,上海201900 [2]上海交通大学电子信息学院,上海200030 [3]哈尔滨工业大学特种加工研究所,黑龙江哈尔滨150001
年 份：2001
卷 号：27
期 号：2
起止页码：150-152
语 种：中文
收录情况：CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：在强调表面三维形貌测量重要性的基础上 ,介绍了利用扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌的原理及三维轮廓仪测量系统的构成。通过给出的几个测量实例 ,反映了该三维轮廓仪的主要特点 ,适合于大范围、高精度、阶梯面的测量。最后分析了影响其测量精度的主要因素。
关 键 词：表面三维微观形貌测量 白光干涉 扫描白光干涉法 三维轮廓仪
分 类 号：TH744.3] TH741.3[仪器类]
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