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Zn_2SnO_4-LiZnVO_4系厚膜湿敏元件的制备和性能研究
Study on preparation and properties of Zn_2SnO_4-LiZnVO_4 system thick film humidity sensors
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]广州师范学院物理系,广州510400 [2]中山大学物理系,广州510275
年 份:2001
卷 号:7
期 号:1
起止页码:41-44
语 种:中文
收录情况:AJ、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要:采用溶胶凝胶法制备 Zn2SnO4-LiZnVO4系陶瓷纳米粉体,用平面丝网印刷工艺在氧化铝基片上制备厚膜湿敏元件。与普通陶瓷粉体制备的元件相比,该元件低湿电阻小,长期稳定性较好。 测量不同工作频率时的湿敏特性表明,元件在 1kHz频率范围感湿线性最佳。复阻抗分析表明,采用溶胶凝胶法制备纳米粉体并控制烧结温度,可获得良好的微结构,是改善元件感湿特性的原因。
关 键 词:溶胶凝胶法 厚膜 湿敏元件 复阻抗分析 制备
分 类 号:TN304.9] TP212]
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