文献类型：期刊文章

作　　者：卢耀文[1,2] 齐京[1] 陈旭[1] 刘志宏[2] 张明志[2] 闫睿[1] 徐天伟[3] 查良镇[1]

机构地区：[1]清华大学,北京100084 [2]北京东方计量测试研究所,北京100086 [3]中科院微电子研究所,北京100029

出　　处：《真空科学与技术学报》

年　　份：2014

卷　　号：34

期　　号：6

起止页码：579-584

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD_E2013_2014、EI(收录号：20142917947382)、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：研制出定容法正压漏孔校准装置。采用满量程分别为133 Pa（差压式）、1.33×10^5Pa（绝压式）的两台高精度电容薄膜真空计测量压力变化,通过全金属密封结构减小定容室漏放气对测量结果的影响;采用高精度半导体双级恒温系统获得了296±0.02 K的恒温效果,减小温度对漏孔漏率的影响;通过三个不同的标准体积作为定容室,拓宽装置的校准范围。研究结果证实,研制的校准装置仅采用定容法实现了3×10^-1~4×10^-8Pa·m^3/s的校准范围,合成标准不确定度为1.2%~3.2%。

关 键 词：正压漏孔 校准 检漏 定容法

分 类 号：TB77]