文献类型：期刊文章

作　　者：闫力松[1,2] 王孝坤[1] 郑立功[1] 王润强[3] 张学军[1]

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033 [2]中国科学院大学,北京100049 [3]长春奥普光电技术股份有限公司,吉林长春130033

出　　处：《红外与激光工程》

基　　金：国家自然科学基金(61036015);国家高技术研究发展计划(O8663NJ090)

年　　份：2014

卷　　号：43

期　　号：6

起止页码：1920-1924

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2013_2014、EI(收录号：20142917960090)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了解决大口径反射镜子孔径拼接精度评价的问题,提出了自检验的子孔径拼接精度分析方法,实现了对大口径反射镜拼接精度的分析评价,同时提供了一种拼接精度检测方法。自检验即利用子孔径检测面形对拼接获得的拼接结果进行拼接精度检验。讨论了相应的精度评价指标及计算方法,并结合工程实例,利用准600mm干涉仪实现了对准800mm平面镜的拼接测量。以自检验的评价方式对拼接精度进行了分析,结果表明,拼接结果是准确的,同时验证了以自检验方式评价拼接精度的可靠性与准确性。

关 键 词：光学检测 精度分析  大口径反射镜 子孔径拼接 自检验  

分 类 号：O439] O436.1]