期刊文章详细信息
微细金属图形制作中的剥离技术
Lift-off Techniques Applyed in Fine-line Metal Pattern Fabrication
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]四川压电与声光技术研究所,重庆400060
年 份：2001
卷 号：23
期 号：1
起止页码：68-73
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CSA、CSCD、CSCD2011_2012、IC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：介绍了用于微细金属图形制作中的剥离技术的一些基本要求 ,同时简述了常用的几种剥离方法。
关 键 词：剥离 微细金属图形 半导体工艺
分 类 号：TN305.7]
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