文献类型：期刊文章

作　　者：于靖军[1] 宗光华[1] 毕树生[1]

机构地区：[1]北京航空航天大学机器人研究所,北京100083

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：国家自然科学基金资助项目! (5 0 0 75 0 10 ) ;863高技术资助项目! (86 3-5 12 -98-0 4-2 6 )

年　　份：2001

卷　　号：9

期　　号：1

起止页码：1-5

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、INSPEC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：柔性机构是一种新型机构。首先描述了柔性机构和全柔性机构的概念及特点 ,论述了它们与MEMS之间的关系。然后详细介绍了全柔性机构在 MEMS领域内包括微装配、微操作等应用背景下的状况及前景。最后就对全柔性机构研究中的几个关键技术问题如机构的分析、设计及加工 ,柔性铰链的选择与设计 ,驱动器的选择及设计等进行了探讨。

关 键 词：柔性机构  全柔性机构 柔性铰链 微型机电系统 MEMS

分 类 号：TH112] TH－39