文献类型：期刊文章

作　　者：李进[1] 张洪岩[1] 高忙忙[1] 周锐[2] 薛子文[1] 梁森[1] 李国龙[1] 李海波[1] 何力军[1]

机构地区：[1]宁夏大学宁夏光伏材料重点实验室,银川750021 [2]银川隆基硅材料有限公司,银川750021

出　　处：《人工晶体学报》

基　　金：国家自然科学基金(61366006);宁夏自治区2012科技支撑计划项目;2012宁夏留学回国人员择优资助项目;宁夏大学科技开发及应用基金(NDKF11-1)

年　　份：2014

卷　　号：43

期　　号：5

起止页码：1193-1198

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD2013_2014、EI(收录号：20142617866784)、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：大直径化是太阳能光伏用单晶硅发展的趋势之一。由于炉体结构的增大，炉内气体流场的变化对晶硅生长过程产生了一定的影响。本文采用CGSim晶体生长软件，系统分析了氩气进口流速对固液界面，热应力和晶体氧含量的影响。结果表明，随氩气流速的增加，固液界面高度逐渐下降，当氩气流速为中等范围时，固液界面波动最低，有利于提高拉晶过程的稳定性；另一方面，三相交界处热应力最大值随氩气流速的增加而降低，固液界面热应力波动幅度随氩气流速的增加而增加，综合两方面考虑，确定采用中等氩气流速（0．9—1．5m·s-1）工艺可有效避免断晶等缺陷的发生。同时，在中等氩气流速范围内，晶体中心处的氧含量下降至6．55×10^17m／cm3（氩气流速为1．5m·s-1时），与低氩气流速时相比，氧含量降低了18％。

关 键 词：单晶硅 氩气流场  固液界面 氧含量

分 类 号：O782.5]