文献类型：期刊文章

作　　者：卢耀文[1,2] 陈旭[1] 李得天[2] 齐京[1] 刘波[3] 闫睿[1] 查良镇[1]

机构地区：[1]清华大学,北京100084 [2]兰州物理研究所,兰州730000 [3]西安航天计量测试研究所,西安710100

出　　处：《真空科学与技术学报》

年　　份：2014

卷　　号：34

期　　号：5

起止页码：504-509

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD_E2013_2014、EI(收录号：20142417813604)、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计作为比较器测量示漏He气离子流大小,通过累积的方法解决了质谱分析室中示漏气体分压力测量问题;采用激光打孔和多次镀膜的方式获得10-10m3/s量级的分子流导,用吸气剂泵将真空室本底压力维持在10-7Pa量级,使磁悬浮转子真空计对固定流导元件入口He气压力测量下限可达10-4Pa,从而获得下限为1.3×10-14Pa·m3/s的标准气体流量。研究结果表明,装置采用He气作为示漏气体的校准范围为10-12~1.3×10-14Pa·m3/s,合成标准不确定度为5.2%~5.8%。

关 键 词：累积法 固定流导法 真空漏孔 漏率

分 类 号：TB77]