文献类型：期刊文章

作　　者：孙江超[1] 张小玲[1] 张彦秀[2] 谢雪松[1] 吕曼[1] 吕长志[1]

机构地区：[1]北京工业大学,北京100124 [2]北京燕东微电子有限公司,北京100015

出　　处：《微电子学》

年　　份：2014

卷　　号：44

期　　号：2

起止页码：253-255

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2013_2014、IC、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：研究掺氯氧化+PE钝化、无氯氧化+PE钝化、掺氯氧化+BPSG钝化三种不同工艺线性稳压器的电离辐照响应及退火特性。实验结果发现,掺氯氧化+BPSG钝化工艺样品比其他两种工艺电离损伤明显减小,具有较强的抑制电离辐射损伤的能力。退火实验表明,辐射感生的界面态是影响稳压器电离辐射性能的主要因素,减少界面态可大大提高器件抑制电离辐射损伤的能力。

关 键 词：线性稳压器 电离辐射损伤 BPSG钝化  辐射加固  

分 类 号：TN322.8]