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MEMS传感器及其在航空领域的应用
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]海军驻阎良地区航空军事代表室,陕西省西安市710089
年 份：2014
期 号：4
起止页码：259-260
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微电子机械系统)一般指1μm^100μm的系统,是一种以半导体制造技术为基础的多学科交叉的前沿高新技术。MEMS传感器具有小型化、多功能、低成本、高可靠性的特点。由于航空工业对器件功能密度,可靠性等要求较高,这使MEMS传感器技术在航空领域得到广泛应用,同时也极大地促进了航空技术的发展。
关 键 词：MEMS 传感器 航空
分 类 号：TH-39[机械类] V243]
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