文献类型：期刊文章

作　　者：王必本[1] 王万录[1] 廖克俊[1] 肖金龙[1] 方亮[1]

机构地区：[1]重庆大学理学院应用物理系,重庆400044

出　　处：《物理学报》

基　　金：国家自然科学基金! (批准号 :1990 40 16 )资助的课题

年　　份：2001

卷　　号：50

期　　号：2

起止页码：251-255

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2004057982847)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000166616400012)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：利用扫描电子显微镜和原子力显微镜对负衬底偏压增强金刚石核化的过程进行了分析 ,从理论上探索了负衬底偏压作用下离子的轰击效应增强金刚石核在Si衬底上附着力的机理 ,给出了金刚石核与衬底的附着力和衬底负偏压之间的关系 .

关 键 词：金刚石膜 离子轰击 核化 附着力 硅衬底  SEM  AFM  

分 类 号：O482]