文献类型：期刊文章

作　　者：徐毅[1] 潘正瑛[2,3] 王月霞[2]

机构地区：[1]中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室 [2]复旦大学现代物理研究所三束材料改性国家重点实验室 [3]中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室,上海201800

出　　处：《物理学报》

基　　金：国家自然科学基金!(批准号 :19875 0 11);中国工程物理研究院院外基金资助的课题&&

年　　份：2001

卷　　号：50

期　　号：1

起止页码：88-94

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI(收录号：WOS:000166268900017)、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000166268900017)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：采用分子动力学方法和混合的Finnis Sinclain势得到了Cu6团簇的最稳定结构———正八面体结构 .模拟了此结构的Cu6团簇在入射能量 (Ein)范围为 0～ 30eV/原子下与Cu(0 0 1)和Au(0 0 1)表面皮秒 (ps)级时间内的相互作用 .计算结果表明在此能量范围内 ,由于荷能团簇原子与表面的相互作用 ,团簇原子由原来的正八面体Cu6结构演变为fcc结构沉积在衬底表面 .随着Ein的增加 ,团簇原子的穿透深度及与表面原子的交换增加 .到能量增加至一阈值 ,衬底表面观察到空位及间隙子损伤 .与Cu表面相比 ,Cu6在Au表面的损伤阈能略高 .得出团簇原子在表面的再构是在很短的时间 (ps量级 )内发生 ,在该时间范围级联碰撞对团簇再构起主要作用 .本工作支持相关的实验结果 ,低能团簇束沉积 (LECBD)有利于纳米表面的形成 ,进而改变团簇沉积能量 ,可控制表面纳米薄膜的结构 .

关 键 词：分子动力学 低能团簇  金属表面 沉积  薄膜  

分 类 号：O481]