文献类型：期刊文章

作　　者：钟少龙[1] 龙亮[1,2] 李明[3] 吴亚明[1]

机构地区：[1]中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室,微系统技术重点实验室,上海200050 [2]中国科学院大学,北京100049 [3]中船重工远舟(北京)科技有限公司,北京100861

出　　处：《中国激光》

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ250002)

年　　份：2014

卷　　号：41

期　　号：3

起止页码：102-109

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2013_2014、EI(收录号：20141517568270)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为实现微型化、抗电磁干扰、可长时间工作和可远距离传输的加速度传感器,提出了一种基于微机电系统(MEMS)非对称扭镜结构的光纤加速度计设计方案,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度变化进行检测。MEMS光纤加速度计由MEMS非对称扭镜结构、驱动电极和双光纤准直器等组成。分析了器件的加速度敏感原理和光纤检测原理,介绍了器件综合设计考虑,并给出了器件的结构参数。利用MEMS加工技术成功制作了MEMS光纤加速度计样品。对加速度计进行了实验测试,加速度计的输出实验值与理论值吻合。测试结果表明,该加速度计量程为±2g,带宽为600 Hz,分辨率优于10-4 g,且具有良好的线性度和重复性。该MEMS光纤加速度计将MEMS敏感结构与光纤检测相结合,兼备了两者的优点,结构紧凑、制作工艺简单。

关 键 词：传感器 微机电系统 加速度计 光纤传感器 光纤检测  微加工

分 类 号：TM930.12] O435.1]