期刊文章详细信息
表面粗糙度、表面微观轮廓及微位移激光测量集成化方法的研究 ( EI收录)
Research on Electro-optical Integration of Measuring Surface Roughness,Surface Micro profile and Micro displacement by Laser
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]四川大学激光应用研究所,成都610065
基 金：国家自然科学基金资助项目! (5 95 70 5 8)
年 份：2000
卷 号：32
期 号：6
起止页码：78-81
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、MR、SCOPUS、ZGKJHX、ZMATH、普通刊
摘 要：通过研究激光散射法测量表面粗糙度、三角法测量微位移、干涉法测量表面微观轮廓三种几何量测量技术的共性 ,设计新型光路 ,将三种光电测量技术集成为一个测量仪 ,使其成为采用同一光源、基本同一光路、同一光敏接收器的新型光电精密测量仪器 ,而同时具有三种测量功能 .
关 键 词：表面微观轮廓 激光测量 表面粗糙度 激光散射法 微位移 集成化方法
分 类 号：TG84] TN249]
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