期刊文章详细信息
国外电子气体技术进展
Technological progress of electronic gases overseas
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]光明化工研究设计院,辽宁大连116031 [2]浙江大学材料系功能室,浙江杭州310027
年 份：2001
卷 号：26
期 号：2
起止页码：25-28
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊
摘 要：论述了集成电路技术的发展对电子气体质量提出的更为刻苛的要求。介绍了一些相关新设备、新仪器以及新品种电子气体的应用。
关 键 词：电子气体 集成电路 气体分析仪 粒子计数
分 类 号：TN304]
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