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类金刚石碳膜的热稳定性 ( EI收录)
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,黑龙江哈尔滨150001 [2]双太电子实业有限公司,黑龙江哈尔滨150020
年 份：2000
卷 号：8
期 号：4
起止页码：80-85
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：总结了各种DLC膜的热稳定性及分析手段 ,概述了加热退火情况下DLC膜结构、内应力的变化 ,评述了国内外的最新研究进展 。
关 键 词：类金刚石碳膜 热稳定性 退火 膜结构 内应力
分 类 号：TB383[材料类] O613.71]
参考文献：
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