文献类型：期刊文章

作　　者：胡立群[1] 陈敦军[1] 吴凡超[2]

机构地区：[1]南京大学电子科学与工程学院/江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京210093 [2]江苏省电力公司南京供电公司,南京210008

出　　处：《电子测量技术》

年　　份：2014

卷　　号：37

期　　号：1

起止页码：66-69

语　　种：中文

收录情况：JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：半导体材料的组分不同,决定了其特性的显著差异。为了精确地控制半导材料在生长过程中的气体组分,设计了一种多通道电磁阀控制器。该控制器以单片机为控制核心,具有32个带功率放大的直接数字量输出(DO),可以直接驱动电磁阀从而控制材料生长气路的通断。该控制器可以独立工作,也可以通过RS485接口与上位计算机连接。多个这样的控制器可以进行组合,从而扩展控制规模。与一般的电磁阀控制器相比,抗干扰能力强,设置相对方便。

关 键 词：单片机 直接数字量输出(DO)  RS485 电磁阀  半导体气路控制  

分 类 号：TP368.1]