文献类型：期刊文章

作　　者：谢瑞清[1] 廖德锋[1] 王晓博[2] 袁志刚[1] 钟波[1] 陈贤华[1] 王健[1] 雷向阳[1] 侯晶[1]

机构地区：[1]中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900 [2]常州西南交通大学轨道交通研究院,江苏常州213100

出　　处：《强激光与粒子束》

基　　金：国家科技重大专项课题(2013ZX04006011-101)

年　　份：2014

卷　　号：26

期　　号：1

起止页码：134-137

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2013_2014、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对高功率板条激光器核心工作器件——板条Nd:YAG晶体的超精密加工开展研究,分析了具有特殊构型的板条Nd:YAG晶体元件的加工性能及工艺难点,提出了一种新的基于合成盘抛光的板条Nd:YAG晶体加工工艺,并对规格为100mm×30mm×3mm的板条Nd:YAG晶体进行了加工实验。实验结果表明,合成盘抛光可以很好地控制元件的塌边现象;通过磨料的优化选择,在合成盘抛光工艺中匹配合适粒度的Al2O3磨料能够实现元件的低缺陷加工,元件下盘后的全反射面平面度达0.217λ(1λ=632.8nm),端面平面度达到0.06λ,表面粗糙度达0.55nm(RMS),端面楔角精度可达2″。

关 键 词：板条激光器 Nd∶YAG晶体  抛光 合成盘  面形 粗糙度

分 类 号：TQ171.73]