期刊文章详细信息
大直径直拉硅单晶炉热场的改造及数值模拟 ( EI收录)
Improvement and Numeric Simulation for Heat Zone in Large-diameter Si Single Crystals Furnace
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]河北工业大学半导体材料研究所,天津300130
基 金：国家自然科学基金资助项目!(6 9876 0 11)
年 份：2000
卷 号：29
期 号：4
起止页码：381-385
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：为了降低大直径硅单晶生长过程中氧的引入 ,对常规的 4 0 6mm(16英寸 )热场进行了改造。设计了以矮加热器为核心的复合式加热器系统 ,使晶体生长过程中熔体热对流减小。通过对热场的数值模拟计算 ,分析了热场的温度分布 ,发现熔体的纵向温度梯度下降 ,熔体热对流减小 ,硅单晶中氧含量降低。
关 键 词：直拉硅单晶炉 热场 加热器 热对流 数值模拟 改造
分 类 号：O78] O613.72
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
