期刊文章详细信息
TiN薄膜的多元合金化强化
Improvement on Properties of TiN Film by Multi-components Methods
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]华南理工大学机械电子工程系,广东广州510040 [2]广东工业大学材料科学与工程系,广东广州510090
年 份：2000
卷 号：18
期 号：4
起止页码：135-139
语 种：中文
收录情况：CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、ZGKJHX、普通刊
摘 要：多元合金化是强化 Ti N膜的有效途径之一 ,也是目前研究的热点。本文介绍了几种多元氮化物薄膜的沉积技术及性能特点 ,重点分析了性能对工艺的依赖关系。
关 键 词：多元合金化 离子镀 多元锂 氮化钛薄膜 强化
分 类 号：TB383[材料类]
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