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期刊文章详细信息

彩色PDP喷砂工艺的障壁层清除速率和工艺稳定性研究    

Studies of Rib Paste Ablation Rate and Sand Blasting Process Control in Color Plasma Display Panel Fabrication

  

文献类型:期刊文章

作  者:刘忠安[1]

机构地区:[1]南京电子器件研究所国家平板显示工程技术中心,南京210016

出  处:《真空科学与技术》

基  金:国家自然科学基金青年基金!资助项目 (5 970 2 0 0 5 )

年  份:2000

卷  号:20

期  号:6

起止页码:454-456

语  种:中文

收录情况:BDHX、BDHX1996、CSCD、CSCD_E2011_2012、核心刊

摘  要:提出了彩色PDP喷砂工艺障壁层清除速率的测量公式和减小测量误差的方法 ,讨论了影响清除速率的相关参数及用清除速率定量控制喷砂工艺的条件。指出高耐磨并采用特殊设计的喷头是提高喷砂工艺稳定性和可控性的关键 ,小孔径圆柱状喷头不适用于大生产喷砂工艺。

关 键 词:障壁层清除速率  喷砂工艺  彩色等离子体显示器

分 类 号:TN141.5]

参考文献:

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二级参考文献:

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耦合文献:

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引证文献:

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同被引文献:

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