期刊文章详细信息
低温泵用吸附材料的研究概述
Review of absorbent material used in cryopump
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国电子科技集团公司第16研究所,合肥230043 [2]安徽万瑞冷电科技有限公司,合肥230088 [3]安徽师范大学生命科学院,芜湖241000
年 份：2014
卷 号：42
期 号：1
起止页码：29-34
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、JST、核心刊
摘 要：低温泵广泛应用于真空电子、半导体领域。低温泵的吸附材料对低温泵的工作性能有着重要的影响。综述了低温泵的吸附材料性能与研究现状。首先总结了吸附材料的表征方法及研究内容。然后分别叙述了分子筛、低温霜和活性炭三种低温泵主要用的吸附材料的工作性能,指出其优势和不足。最后以ITER用的低温泵为例说明低温吸附材料的应用。
关 键 词：低温泵 分子筛 活性炭 低温霜
分 类 号：TB655]
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