文献类型：期刊文章

作　　者：李建[1,2] 王坤[1,2]

机构地区：[1]核工业西南物理研究院,成都610041 [2]成都理工大学工程技术学院核工程与新能源技术系,乐山614007

出　　处：《真空科学与技术学报》

基　　金：乐山市科技局技术开发项目(12GXP055)

年　　份：2013

卷　　号：33

期　　号：12

起止页码：1219-1222

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD_E2013_2014、EI(收录号：20140317209019)、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：制作了一个平板等离子体紫外光源:以透明导电膜(ITO)玻璃作为前极板;与玻璃牢固结合、厚度为50 mm的铝箔作为后极板,直接制备于铝箔上、厚度为20 mm的多孔氧化铝作为介质。介绍了平板紫外光源的结构与实验过程,研究并讨论了放电气体组成和放电气体压强对平板等离子体紫外光源紫外光辐射效率的影响。通过结构调整与参数优化,平板等离子体紫外光源的紫外光辐射效率显著提高。实验结果显示:基于表面为多孔氧化铝的铝箔和ITO玻璃可以设计出平板等离子体紫外光源;在一个尺寸为130 mm×90 mm、气体间隙0.71 mm、前板玻璃厚为2.8 mm的平板等离子体紫外光源中,当以1%(体积比)氮气和99%氩气的混合气体作为放电气体、放电气体压强250×133 Pa时,紫外光源辐射效率可达5%左右,最大辐射功率为230 mW。

关 键 词：紫外 真空紫外 平板光源  紫外光源

分 类 号：O434.2] O432.1]