文献类型：期刊文章

作　　者：闫坤坤[1,2] 黄春[1,2] 王文东[2] 裘爱华[3] 赵嵩卿[1] 夏洋[2]

机构地区：[1]中国石油大学(北京)理学院光传感与光探测实验室,北京102249 [2]中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室,北京100029 [3]北京联合涂层技术有限公司,北京102202

出　　处：《金属热处理》

基　　金：国家科技重大专项(2008ZX02101-3)

年　　份：2013

卷　　号：38

期　　号：12

起止页码：5-9

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2013_2014、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用大气等离子喷涂方法分别以Ar/H2和Ar/He作为工作气体在铝基体上制备氧化钇涂层。采用扫描电镜、X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪对涂层的成分及结构进行了分析。结果表明,以氢气为辅助气体制备的氧化钇涂层,涂层中有少许立方相转变为单斜相。喷涂距离小于120 mm时,涂层表面出现黑色斑点。经700℃以上退火,黑色斑点减少并消失。而使用氦气作为辅助气体,可以得到纯正白色的单一相结构的氧化钇涂层,但由于氦气热焓值相对于氢气低,氧化钇颗粒未完全熔融,涂层不致密。

关 键 词：大气等离子喷涂 氧化钇涂层  相结构 表面形貌

分 类 号：TG174.4]