文献类型：期刊文章

作　　者：王磊[1,2,3] 徐苗[1,2,3] 兰林锋[1,2] 邹建华[1,2,3] 陶洪[1,2,3] 徐华[1,2] 李民[1,2] 罗东向[1,2] 彭俊彪[1,2]

机构地区：[1]发光材料与器件国家重点实验室 [2]华南理工大学高分子光电材料与器件研究所,广州510640 [3]广州新视界光电科技有限公司,广州510730

出　　处：《中国科学：化学》

基　　金：国家自然科学基金(61306099);中央高校基本科研业务费(2012ZM0003);广东省优博基金(SYBZZXM201113);广东省教育部产学研结合(2011A090200109)项目资助

年　　份：2013

卷　　号：43

期　　号：11

起止页码：1383-1397

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD2013_2014、JST、PUBMED、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：金属氧化物薄膜晶体管（metal oxide thin film transistor，MOTFT）由于具有迁移率高、均匀性好、工艺简单、工艺温度低、成本低等优势，非常适合高分辨率、大尺寸液晶显示（LCD）和有源矩阵有机发光二极管显示（AMOLED）等新型显示技术发展的需要，因此受到业界和学界的广泛关注．结合本课题组的工作，本文阐述了MOTFT的材料、器件结构、制作工艺以及应用，并对影响MOTFT性能的因素进行了讨论．本课题组开发的新型MOTFT迁移率可达35cm^2／（Vs），阈值电压为1．63V，开关比为10^9，亚阈值摆幅为0．21Wdecade．基于自主开发的MOTFT背板，在国内率先实现了3—5英寸彩色AMOLED显示屏、透明AMOLED显示屏以及柔性AMOLED显示屏，展示了MOTFT背板良好的应用前景．

关 键 词：金属氧化物 氧化物半导体 薄膜晶体管  有机发光二极管  主动矩阵 柔性显示屏

分 类 号：TN141]